1963
Galerie Ruth Nohl, Siegen

1965
Anonyme Architektur, Galerie Pro, Bad Godesberg

1967
Industriebauten 1830–1930, Die Neue Sammlung, Staatliches Museum für angewandte Kunst München

1968
Bouwen voor de Industrie, Stedelijk van Abbemuseum, Eindhoven
Industrial Buildings 1830–1930, Fisher Gallery, University of Southern California, Los Angeles
Industriebauten des 19. und 20. Jahrhunderts, Städtisches Museum Abteiberg, Mönchengladbach

1969
Anonyme Skulpturen. Formvergleiche industrieller Bauten, Städtische Kunsthalle Düsseldorf

1970
Form genom funktion, Moderna Museet, Stockholm
Vergleiche technischer Konstruktionen, Galerie Konrad Fischer, Düsseldorf

1972
Sonnabend Gallery, New York
Bernd and Hilla Becher. Morphologies and Anonymous Sculptures, International Museum of Photography and Film at George Eastman House, Rochester, New York

1973
Galerie Sonnabend, Paris

1974
Sonnabend Gallery, New York
La Jolla Museum of Contemporary Art, La Jolla, Kalifornien

1975
Fotografien 1957 bis 1975, Rheinisches Landesmuseum Bonn

1975/76
Projects: Bernhard and Hilla Becher, Museum of Modern Art, New York

1976
Gutehoffnungshütte, Galerie Konrad Fischer, Düsseldorf

1977
Fine Arts Center, University of Rhode Island, Kingston, Rhode Island
Preparation Plants, Sonnabend Gallery, New York

1978
Milwaukee Art Center, Milwaukee, Wisconsin
Sonnabend Gallery, New York

1979
Fachwerkhäuser des Siegener Industriegebietes, Kunstraum München

1980
Zeche Hannibal, Galerie Konrad Fischer, Düsseldorf

1981
Bernd und Hilla Becher. Arbeiten 1957–1981, Stedelijk van Abbemuseum, Eindhoven

1983
Winding Tower, Freedman Gallery, Reading, Pennsylvania

1985
Fördertürme, Museum Folkwang Essen
American Industrial Buildings, Sonnabend Gallery, New York

1986
Bernd und Hilla Becher: Bergwerke, Architekturmuseum, Basel

1988
Sonnabend Gallery, New York
Wassertürme, Kunstverein München

1989–1991
Dia Art Foundation, New York

1990
Sonnabend Gallery, New York
Typologien, Kölnischer Kunstverein, Köln

1991
Kies, Sand, Basalt, Galerie Max Hetzler, Köln

1992
Daniel Weinberg Gallery, Los Angeles

1993
Fraenkel Gallery, San Francisco
Distanz und Nähe, Neue Nationalgalerie, Berlin

1994
Typologies. Bernd and Hilla Becher, Ydessa Hendeles Art Foundation, Toronto
Kaiserringträger der Stadt Goslar 1994, Mönchehaus-Museum für Moderne Kunst, Goslar
Industriephotographie. Im Spiegel der Tradition, Kunstsammlung der Ruhr-Universität Bochum

1994/95
Hilla und Bernd Becher – Typologien, Westfälisches Landesmuseum für Kunst- und Kulturgeschichte, Münster

1995
Bernd und Hilla Becher. Works 1963–1995, IVAM Centre Julio González, Valencia

1995/96
Industrial Facades, Irish Museum of Modern Art, Dublin

1998
Kalkwerke, Lhoist Group, Limelette, Belgien

1999
Bernd und Hilla Becher. Bergwerke, Objekt und Beschreibung, Die Photographische Sammlung/SK Stiftung Kultur, Köln

2001
Bernd und Hilla Becher. Häuser, Centre de la photographie, Genf

2002
Industriële Structuren/Industrial Structures, Stedelijk Museum Amsterdam
De mijn bij Winterslag, Noordbrabants Museum, Den Haag

2003
Industrial Landscapes: Bernd and Hilla Becher, Fraenkel Gallery, San Fancisco, Kalifornien
Typologien industrieller Bauten, K20/K21 Kunstsammlung Nordrhein-Westfalen im Ständehaus, Düsseldorf
Zeche Zollern 2, Die Photographische Sammlung/SK Stiftung Kultur, Köln

2004
Photographies de Bernd et Hilla Becher, Musée des Beaux-Arts, Nancy
Bernd and Hilla Becher. 1962–2000, pkm gallery, Seoul
Early Works, André Simoens Gallery, Knokke
Grube San Fernando, Die Photographische Sammlung/SK Stiftung Kultur, Köln
Hasselblad Award Winners, Hasselblad Center, Göteborg
Bernd und Hilla Becher – Typologien industrieller Bauten, Haus der Kunst, München und Musée d'art moderne, Centre Georges Pompidou, Paris

2005
Indstustibygningenes grunnformer, The Museum of Contemporary Art/Museet for Samtidskunst, Oslo
Basic Forms of Instustrial Buildings, Brandts Museet for Fotokunst, Odense
Bernd und Hilla Becher – Typologien industrieller Bauten, Staatliche Museen zu Berlin –Hamburger Bahnhof/Museum für Gegenwart, BerlinTipologías, Fundación Telefónica, Madrid

2006
Single Images, Sonnabend Gallery, New York
Typologies Anciennes, MAC's/Musée des arts contemporains, Grand-Hornu
Zeche Concordia, Fachwerkhäuser des Siegener Industriegebietes, Die Photographische Sammlung/SK Stiftung Kultur, Köln
Getreidesilos. Photographien, Schirmer/Mosel Showroom, München

2007
Grain Silos, Sonnabend Gallery, New York
Getreidesilos, Schirmer/Mosel Showroom, München
Zeche Concordia, Landesgalerie Linz am Oberösterreichischen Landesmuseum, Linz a.d.Donau

2008
Basic Forms, The J. Paul Getty Museum, Los Angeles, Kalifornien
Bernd and Hilla Becher, Sonnabend Gallery, New York
Landscape/Typology, The Museum of Modern Art, New York

2009
Bernd & Hilla Becher, Museo Morandi, Bologna
Bernd und Hilla Becher, Konrad Fischer Galerie, Berlin

2010
Bernd & Hilla Becher, Konrad Fischer Galerie, Düsseldorf
Water Towers, Sonnabend Gallery, New York
Industrial Archeologists. Bernd and Hilla Becher, Cultural Foundation Ekaterina, Moskau
Bergwerke und Hütten, Josef Albers Museum Quadrat, Bottrop
Zeche Hannover. Photographien aus dem Ruhrgebiet von Bernd und Hilla Becher, Die Photographische Sammlung/SK Stiftung Kultur, Köln

2011
Blick in die Sammlung: Bernd und Hilla Becher. Grube Anna, Alsdorf/Aachen, D, Die Photographische Sammlung/SK Stiftung Kultur, Köln
Siegerländer Fachwerkhäuser, Museum für Gegenwartskunst, Siegen
Kunstwerke, Oeuvres. Photographies de Bernd et Hilla Becher, Galerie photo du Pôle Image Haute-Normandie, Rouen
Bergwerke und Hütten, Fotomuseum im Münchner Stadtmuseum
Bergwerke und Hütten – Industrielandschaften, Fotomuseum, Winterthur

2012
Bernd & Hilla Becher. Doly. Hut? / Coal Mines. Steel Mills, Galerie Rudolfinum, Prag
Bernd and Hilla Becher, Sonnabend Gallery, New York
Bernd & Hilla Becher. Imprimés 1964-2010, eine Ausstellung im Rahmen der Paris Photo, Grand Palais, Paris

2013
Siegerländer Fachwerkhäuser, Orts- und Dorfansichten des Siegerlandes, Siegerländer Gruben und Hütten, Holzfördertürme in Pennsylvania, Museum für Gegenwartskunst Siegen
Hochofenwerke, Die Photographische Sammlung/SK Stiftung Kultur, Köln
Bernd & Hilla Becher. Imprimés 1964–2013, Fondation A, Brüssel

2014
Bernd & Hilla Becher, Sprüth Magers, London
Bernd & Hilla Becher. Photographien, Portfolios, Bücher bei Schirmer/Mosel, Schirmer/Mosel Showroom, München
Bernd & Hilla Becher. Fotografie aus fünf Jahrzehnten, Konrad Fischer Galerie, Düsseldorf

2016
Blick in die Sammlung: Bernd & Hilla Becher – Fachwerkhäuser des Siegener Industriegebietes, Die Photographische Sammlung/SK Stiftung Kultur, Köln

2018
Bernd & Hilla Becher. Bergwerke, Museum Quadrat, Bottrop

2019
Bernd & Hilla Becher: Kohlebunker, Kunstarchiv Kaiserswerth, Düsseldorf
Bernd & Hilla Becher: Industrial Visions, National Museum Cardiff, Wales
Bernd & Hilla Becher: Coal Mine Tipples - Pennsylvanische Kleinbergwerke, Kunstarchiv Kaiserswerth, Düsseldorf

2021
Bernd & Hilla Becher. Photo & Druckgraphik, Kunstarchiv Kaiserswerth, Düsseldorf